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日本sanyu electron臺式快速涂布機

日本sanyu electron臺式快速涂布機

產(chǎn)品型號： SC-701AT

所屬分類：涂布機

產(chǎn)品時間：2021-03-15

簡要描述：日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT
排氣→涂層（蝕刻）→全自動，直到進入大氣
盡管是緊湊型，但仍可以進行膜厚控制（簡單型）
全自動濺射設(shè)備，操作簡便，重現(xiàn)性高

詳細說明：

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT

 

特征

 

  • 排氣→涂層（蝕刻）→全自動，直到進入大氣
  • 盡管是緊湊型，但仍可以進行膜厚控制（簡單型）
  • 全自動濺射設(shè)備，操作簡便，重現(xiàn)性高
  • 配備涂層/蝕刻模式

應(yīng)用/結(jié)果示例

 

  • 各種設(shè)備的電極膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT

基本規(guī)格

 

陰極φ2英寸/ 2極面對電極
濺射靶包含金靶
蝕刻目標包括Al目標
膜厚設(shè)定方法預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示
氣體導(dǎo)入機制針閥
真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵：20l / min（帶自動泄漏）
排氣操作自動的
箱體尺寸內(nèi)徑φ120mm x D120 mm（SUS制）
樣品交換方法前門開合式
尺寸（寬/深/高）主體：225/420 / 320mm
RP：300/160 / 200mm
重量身體：15公斤
RP：9公斤


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